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海德汉HEIDENHAIN光栅尺LIDA 479/489资料下载

点击次数:1981 发布时间:2021/6/24
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 海德汉HEIDENHAIN光栅尺LIDA 479/489资料下载
敞开式直线光栅尺
敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求*的机床和系统。
典型应用包括:
半导体业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超高精度机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直驱电机

Linear scale

LIDA 409

Measuring standard

Coefficient of linear expansion

Steel scale tape with METALLUR scale grating; grating period 20 µm

αtherm ? 10 · 10–6 K–1

Accuracy grade*

±3 µm, ±15 µm1)

Baseline error

≤ ±0.750 µm/50 mm (typical)

Measuring length ML* in mm

70 120 170 220 270 320 370
420 520 620 720 820 920 1020

Scale tape from the roll: 2 m,4 m, 6 m

Reference marks

One at midpoint of measuring length

Every 50 mm

Mass

31 g/m

 

 

 

 

 

 

Scanning head

LIDA 48

LIDA 47

Interface

  1 VPP

? TTL

Integrated interpolation*

Signal period

–

20 µm

5-fold

4 µm

10-fold

2 µm

50-fold

0.4 µm

100-fold

0.2 µm

Cutoff frequency –3 dB

≥ 500 kHz

–

Scanning frequency*

–

≤ 400 kHz

≤ 200 kHz

≤ 100 kHz

≤ 50 kHz

≤ 200 kHz

≤ 100 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12.5 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12.5 kHz

≤ 6.25 kHz

Edge separation a2)

–

≥ 0.100 µs

≥ 0.220 µs

≥ 0.465 µs

≥ 0.950 µs

≥ 0.100 µs

≥ 0.220 µs

≥ 0.465 µs

≥ 0.950 µs

≥ 0.080 µs

≥ 0.175 µs

≥ 0.370 µs

≥ 0.080 µs

≥ 0.175 µs

≥ 0.370 µs

Traversing speed2)

≤ 600 m/min

≤ 480 m/min

≤ 240 m/min

≤ 120 m/min

≤ 60 m/min

≤ 240 m/min

≤ 120 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 7.5 m/min

Interpolation error

±45 nm

–

Limit switches

L1/L2 with two different magnets; output signals: TTL (without line driver)

Electrical connection

Cable, 0.5 m, 1 m or 3 m with D-sub connector (male) 15-pin

Cable length

See interface description, however limit: ≤ 20 m (with HEIDENHAIN cable)

Voltage supply

DC 5 V ±0.5 V

Current consumption

< 130 mA

< 150 mA (without load)

Vibration 55 Hz to 2000 Hz

Shock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

Operating temperature

–10 °C to 70 °C

Mass Scanning head

Connecting cable

Connector

20 g (without cable)

22 g/m

32 g

* Please select when ordering

1) ±5 µm after linear length-error compensation in the evaluation electronics

2) At a corresponding cutoff or scanning frequency

绝对式编码器
系列 说明
LIC LIC敞开式直线光栅尺能够对行程达28 m和高速运动进行绝对位置测量。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。
输出位置值的编码器
 
系列 说明
LIP 200 LIP 211和LIP 291增量式直线光栅尺输出位置值的位置信息。正弦扫描信号在读数头中被高倍频细分且其计数功能将细分的信号转换成位置值。与所有增量式编码器一样,借助参考点确定绝对原点。
增量式编码器
 
系列 说明
LIP
超高精度
LIP敞开式直线光栅尺拥有极小的测量步距,*的精度和重复精度。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。
LIF
高精度
LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR工艺制造的玻璃基体光栅,采用干涉扫描方法。特点是精度高和重复精度高,安装特别简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中(参见其单独“产品信息”)。
LIDA
高速运动和大测量长度
LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装特别简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。
PP
二维坐标测量
PP二维编码器的测量基准是平面DIADUR工艺制造的相位光栅,采用干涉扫描方法。用于测量平面中位置。
LIP/LIF
高真空和超高真空技术
我们的标准编码器适用于低真空或中等真空应用。高真空或超高真空应用的光栅尺需要满足一些特殊要求。采用的设计和材质必须满足应用要求。更多信息,参见“真空中应用的直线光栅尺”产品信息。
以下敞开式直线光栅尺专用于高真空或超高真空应用环境。
• 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V 
• 超高真空:LIP 481 U
海德汉敞开式直线光栅尺的全新信号处理ASIC芯片
 
海德汉敞开式直线光栅尺是*精度定位或高准确性运动的理想选择。为确保光栅尺在整个生命周期中都满足高精度要求,海德汉最新开发了全新ASIC信号处理芯片:HSP 1.0。

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